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鏡筒內(nèi)電子束減速技術(shù)
搭載鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，在極低著陸電壓下仍可以有效控制像差，提供超高分辨成像水平。
”三物鏡“技術(shù)
物鏡系統(tǒng)由兩組電磁透鏡和一組靜電透鏡組成，三組物鏡均可獨立控制并任意組合以聚焦電子束；三種物鏡的靈活組合可以應(yīng)對更加多樣的觀測場景，用戶在不改變工作距離的前提下即可實現(xiàn)一鍵全自動切換超大視野、超大景深、超高分辨等多種成像模式。
MD多功能能量選擇探測器
可同時收集SE、中角度BSE信號，生成同時展示形貌襯度與成分襯度、突出樣品表面輪廓的圖像；能量濾波網(wǎng)格設(shè)計，SE信號、BSE信號（<4000eV）可被濾掉，增強樣品表面特征的BSE襯度。
l超高分辨能力
旗艦級場發(fā)射電子光學(xué)鏡筒
最高分辨能力可達1.1nm@1kV，0.6nm@15kV
l鏡筒內(nèi)減速
配備鏡筒內(nèi)減速技術(shù)，可以提供低至10V的超低能量超高分辨成像能力，輕松觀察樣品極表面細節(jié)
絕緣樣品、不耐輻照樣品、磁性樣品均可觀測
l多模式一鍵切換
三物鏡結(jié)構(gòu)提供更加靈活多變的物鏡組合模式，無需改變工作距離即可一鍵切換超大視野、超大景深、超高分辨、超大束流等多種觀測模式。
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